防靜電工作區技術要求GJB3007–97
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【提要】 本標準規定了供操作靜電放電敏感電子產品用的防靜電工作區應具備的各項技術要求。 1 范圍 1．1主題內容 本標準規定了供操作靜電放電敏感電子產品用的防靜電工作區應具備的各項技術要求。 1．2適用范圍 本標準適用于防靜電工作區。 1．3應用指南 由于電子產品的靜電放電敏感度不同和防靜電工作區具體用途以及結構形式的差異，本標準規定的內容和要求允許剪裁。 1．4分級 按照防靜電工作區內的指定空間所允許的對地靜電電位值，將防靜電工作區分為二級。 A級——允許的對地靜電電位不超過±100V； B級——允許的對地靜電電位不超過±1000V； 2 引用文件 GB438——1995 防靜電鞋、導電鞋技術要求 GB12014——89 防靜電工作服 GJB/Z 25——91 電子設備和設施的接地、搭接和屏蔽設計指南 GJB1649——93 電子產品防靜電放電控制大綱 SJ/T10694——1996 電子產品制造防靜電系統測試方法 3 定義 3．1術語 3．1．1防靜電工作區 electrostatic discharge protected area 配備各種防靜電設備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標記的適于從事靜電防護操作的場所。 3．1．2操作 handling 在靜電放電敏感電子產品的制造、老化、篩選、檢測、裝聯、包裝、貯存、修理和失效分析等過程中，直接或間接地作用于產品的有效活動。 3．1．3 接地 grounding 電子連接到能供給或接受大量電荷的物體（如大地、艦船或運載工具外殼等）（見GJB1649第3.1.2條）。 3．1．4 硬接地 hard ground 直接與大地電極作導電性連接的一種接地方式。 3．1．5軟接地 soft ground 通過一足以限制流過人體的電流達到安全值的電阻連接到大地電極的一種接地方式。 3．1．6大地電極 earth electrode 埋于地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。它可以是桿狀的、板狀的或網狀的，為接地系統提供接大地的基準點。 3．1．7 靜電耗散材料 dissipative materials 其表面電阻率等于或大于1x105Ω/ ，但小于1x1012Ω/ ；或何種電阻率等于或大于1x104Ω· cm，但小于1x1011Ω/·cm的材料。 3．1．8導（靜）電材料 （electrostatic）conductive materials 其表面電阻率小于1x105Ω/ 或體積電阻率小于1x104Ω· cm的材料。 3．2 縮寫詞 3．2．1 ESD electrostatic discharge sensitive 靜電放電。 3．2．2 ESDS electrostatic discharge sensitive 靜電放電敏感（的）。 3．2．3 EPA electrostatic discharge protected area 防靜電工作區。 3．2．4 EBP earth bonding point 接地連接點。 4 一般要求 4．1 靜電放電敏感符號 靜電放電敏感符號的式樣、顏色和尺寸以及其簡化符號式樣，應符合GJB 1469附錄C（補充件）的規定。 4．2EPA 標記符號 EPA 標記符號式樣如圖1所示，其最小尺寸為300mm × 150mm。標記顏色一般采用黃底黑色，應避免使用紅色。在圖中*處應標出級別代碼（A或B）。 4．3接地連接點符號EPA 內的接地連接點符號式樣如圖2所示，其尺寸的大小應能夠在普通照明條件下用肉眼清楚辨認。標記顏色一般采用黃底黑色，應避免使用紅色。 5 詳細要求 5．1靜電電位 如無另外規定，EPA內的靜電電位應滿足下列要求，即在任何情況下，在EPA內貯存，使用或接受加工的未帶ESD外防護的ESDS產品周圍300mm空間之內任一物體的靜電電位不得超過該級EPA允許的對地靜電電位值。 使用準確度優于±10%的非接觸式靜電伏特計進行測量。 5．2構造形式 EPA的構造形式因其具體用途而定?？梢允窍率鰣鏊换蚱浣M合： a.一個操作工作臺； b.一個庫房； c.一個加工操作間； d.一個工作機房； e.一個活動的或固定的工作站； f.一個維修工作現場。 無論屬于哪一種構造形式，它都必須是一個具有明確劃定邊界（例如，在一寬大的廠房內可使用寬度為50mm的黃色警示標志線，將防靜電工作區劃定）的場所，并具有為完成其功能所必需的儀器、設備和器材。 5．3標記 5．3．1EPA 專用標記 應在EPA入口處附近的明顯位置（例如門的上方或門對面的壁上）貼有符合4.2條規定的標記，標記的尺寸大小與EPA的規模相稱。 5．3．2 接地標記 在EPA內設置的供接地用的連接點，并沒有做處第4.3條規定的標記。 5．3．3 ESDS產品標記 在EPA內接受加工、裝聯或在EPA內進行包裝、貯存的ESDS產品，在產品和內包裝上應標志符合第4.1條或相應的產品規范規定的靜電放電敏感符號標記。 5.4 氣候與環境條件 5.4.1 溫度 EPA 內應裝設有溫度調節裝置,以維持其室溫在15~35℃的范圍內.采用準確度優于±0.5℃的溫度計測量EPA內的濕度,并在每日的同一時間測量和記錄一次。 5．4．2 濕度 EPA 內應裝設有濕度度調節裝置,以維持其室內相對濕度在45%~75%范圍內。采用準確度優于±2%的濕度計測量EPA內的濕度,并在每日的同一時間測量和記錄一次。 5．4．3 氣壓 EPA內大氣壓力應在86~106kpa范圍內。不能滿足上述要求時，應采取調壓措施。 5．4．4靜電消除器 在工作臺面上方的適當部位或其他必要部位，應裝設靜電消除器，以消除未打開的包裝件上的靜電荷和在操作過程中因人體、工具及其他物品相互摩擦在工作上所產生的靜電荷靜電消除器應能消除任何一種極性的電荷，并在其有效防護區域內使靜電位保持在規定值以內，中和能力應優于±250V/s。 5．4．5 潔凈度（必要時） 需使用潔凈環境的EPA加工場所，廠房空氣潔凈級別按有關工藝設計文件規定。 5．5接地 EPA 應具備滿足其使用功能要求的防靜電接地分系統，并通過大地電極分系統接到大地。此外，EPA通常還需設置若干其他接地分系統，例如雷電保護、故障保護、信號、參考等分系統。這些接地分系統的作用、配置、安裝方法接地電阻要求及測量方法等，參見GJB/Z25第5~9章。 5．5．1防靜電接地分系統 EPA的防靜電接地分系統包括人體防靜電接地、地坪防靜電接地和操作裝置、儀器的防靜電接地等。除個別指明需采用硬接地者外，一般采用軟接地方式，其接地電阻可由外接電阻、材料內固有電阻或它們的組合構成。各種防靜電接地的接地電阻要求見5.6條。 5．5．2 接地安裝注意事項 5．5．2．1防靜電接地分系統可利用故障保護地線或信號參考地線（直流工作地線）作為接地母線。 5．5．2．2不允許交流線路的走線與直線地線緊貼或平行鋪設，以防以直流信號造成干擾。 5．5．2．3各接地分系統的連線之間應當相互隔離，為此應使用帶絕緣外皮的導線。 5．5．2．4各接地干線之間的連接應采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等進行搭接連接。 5．5．2．5防靜電工具、裝置等接地端子允許使用易于裝拆的各種夾式連接器，例如鱷魚夾、插頭座等，但應確保電氣連接可靠。 5．5．2．6防靜電工作臺和裝置、設備等的故障保護地線應采用最小截機積不小于1.25mm2的多股敷塑導線，外皮顏色為黃綠色。 5.6各種器材、用具的靜電性能 5.6.1ESD防護工作臺面 除非制造工藝要求需要使用導（靜）電工作臺面，EPA內的ESD防擴工作臺面應使用靜電耗散材料制成并接地良好。推薦工作臺面尺寸為1200mm×600mm。ESD防護工作臺面的對地電阻和表面（點對點）電阻要求見表1。對地電阻測量原理按SJ/T10694的圖7，測量電表的一端接到腕帶接地插孔上，另一個電極距此0.9m，測量5個點（測量電極以0.9m為半徑的繞接地插孔旋轉移動），取其平均值。表面（點對點）電阻測量原理按SJ/T106409的圖6a，二測試電極相距0.9m，共測量5組數據取平均值。測量時一個電極以0.9m的半徑繞固定的電極旋轉移動。 表1 EPA 內各種器材的靜電性能要求
5.6.2 ESD防護地板、地墊
除非制造工藝要求需要使用導（靜）電地板，EPA應采用靜電耗散地板或地墊并接地良好，其對地電阻和表面（點對點）電阻的要求見表1。對地電阻的測量原理按SJ/T10694的圖5。表面（點對點）電阻的測量原理按SJ/T10694的圖4，每4m2隨機抽取5點并取中心對四角4次測量結果的平均值，測量點遺著 板的邊緣不得小于10mm。
5.6.3 ESD防護腕帶、鞋束（足跟帶）
在ESD防護工作臺面的二個角落上應配置供腕帶接地用的插孔（即EBP）二個，一個供操作人員使用，另一個供其他相關人員使用。
腕帶內表面（與手腕的接觸面）對地電阻應符合表1的規定，其測量原理及方法按SJ/T10694第6.9.1條。
在腕帶被除數佩戴情況下，對地電阻應符合表1的規定，其測量原理及方法按SJ/T10694第6.9.3條。
供連接腕帶用的腕帶連線，其端對端之間的電阻應符合表1規定，其測量原理及方法按SJ/T10694第6.9.2條。
在使用腕帶不方便的情況下，在使用鞋束（足跟帶）進行人體防護接地。鞋束（足跟帶）應由靜電耗散材料制作，其系統電阻值應符合表1，測量原理及方法按SJ/T10694第6.10條。
5.6.4 物品存放架、內部運輸小車（物流車）
應能通過支腳或輪子接地，它與工件接觸的表面應由靜電耗散材料制作。對地電阻和表面（點對點）電阻值應符合不1。對地電阻的測量原理及方法按SJ/T10694第6.8條。表面臨著點對點）電阻的測量原理及方法近SJ/T10694第6.4.1條。
5.6.5 轉容器（箱、盤、盒）其內、外表面（點對點）電阻應符合表1規定。電阻的測量原理及方法按SJ/T10694第6.7條。
5.6.6 工作椅
工作椅應能通過支腳或輪接地，在正常操作情況下與人體接觸的表面應由耗散材料制作。工作椅的對地電阻和表面（點對點）電阻值應符合表1規定。對地電阻的測量原理及方法按SJ/T10694第6.5.1條。表面（點對點）電阻的測量原理及方法按SJ/T10694第6.5.2條。
5.6.7 電烙鐵
焊頭部位應進行硬接地，從焊頭到接地系統的電阻應不大于2Ω。
5.6.8 工作服
工作服應符合GB12014的規定，其各部分之間應存在著電氣連續性。工作服的設計應能保持其在穿著狀態下與人體皮膚直接或間接地接觸。必要時，其上應設置專門的接地連接點（見圖3），在穿用過程中通過導線接地。工作服的以地電阻和表面（點對點）電阻要求按表1，其測量原理分別見圖3和圖4。測量電極為圓柱形，直徑50mm，重量2kg。
5．6．9防靜電鞋、襪
進入EPA的人員應穿用防靜電鞋。鞋的性能要求應符合GB4385的規定。在穿用狀態下，鞋、襪對地電阻值應符合表1規定，測量原理及方法按SJ/T10694第6.11條。
5.6.10防靜電手套、指套
5.7 防靜電門
必要時，門反手應能導靜電，例如經過防靜電處理或由靜電耗散材料制作，以便當人員進入EPA時通過手握把手來消除人體電荷。
5.8 墻壁、天花板
墻壁、天花板應選用靜電耗散材料制作。如選用石膏、石灰等材料，只要其摩擦起電電壓不大于該級EPA允許的對地靜電電位值（按SJ/T10694第5條方法測試）是可以的，但不允許使用普通塑料或壁紙。
5.9 技術管理要求
5.9.1 人員培訓
凡與EPA相關的工作人員，均需經過基本防靜電知識的培訓操作人員應掌握各種器具的使用技能和操作規則與方法。
5.9.2 靜電源控制
凡易于產生摩擦靜電的材料，例如普通塑料、橡膠、合成纖維等，在EPA內不準使用。
5.9.3 包裝
進入EPA的元器件或組件，必須使用防護罩或袋進行防靜電包裝（包括非ESDS產品）。即使已被發現為失效的元器件或組件，以送去修復或進行失效原因分析之前，同樣需要與正常品一樣進行防靜電包裝。并且，包裝與拆包裝操作均需在EPA內進行。
5.9.4 人體防護
5.9.4.1 凡進入EPA的人員必須穿防靜電工作服（見5.6.8條）長頭發的人員應佩戴由防靜電布料制作的工作帽，以防頭發與ESDS產品發生接觸放電。
5.9.4.2 凡與ESDS產品接觸的人員，包括操作人員、工程技術或管理人員、參見人員等，需佩戴防靜電腕帶（見5.6.3條）并應保持其與人體、與接地系統都接觸可靠。當使用鞋束（足跟帶）時（見5.63條），應捆扎牢固，保持人體有可靠邊的接地。
5.9.4.3 凡進入EPA的人員必須穿防靜電工作鞋（見5.6.9條），并應保持與防靜電地板或地墊妥善接觸以泄漏人體靜電荷。
5.9.4.4 必要時，應佩戴防靜電手套或指套進行操作（見5.6.10條）。
5.9.4.5 在EPA內的人員不準進行與工作無關的肢體活動。
5.9.5 文件資料防護
在EPA內使用的文件資料，其與別的物體之間或文件自身之間的接觸分離，所產生的靜電位不能大于該EPA所允許的對地靜電電位值。必要時，這些文件資料應裝在透明防靜電包裝袋內。
5.9.6 EPA驗收要求
新建成或經過改建而成的EPA，投入使用前應經過技術驗收。驗收工作由使用單位負責人組織相關部門和人員進行。應按第5章所列各項要求進行檢查或測量，確認其符合規定要求后方允許投入使用。檢查和測量的記錄應存檔。
5.9.7 EPA維護與檢查要求
對EPA各項技術要求，必須經常性地進行檢查、監測，以維持其各項性能符合本標準的規定。檢查的頻次如表2所示。
注:①當配備有廠房潔凈裝置時,潔凈度的測量頻次和方法按裝置說明書或有關工藝設計文件的規定進行.
1) 因氣壓波動不大，不要求每日記錄。但對于流動EPA，每當移動后其地處海拔高度有重大變化時，應記錄氣壓。
2) 靜電消除器中和能力的測量按其產品規范中指明的方法進行。并應選取在最不利的位置處測量。
6 說明事項
6.1 預定用途
本標準所規定的EPA，適宜作為ESDS電子產品的場所（A級），也可作為ESDS電子整機產品機房（例如程控交換機房、電子計算機機房、電子設備方艙等）使用（B級）。對于其他ESDS產品（例如火工、醫藥等）的加工場所可參照使用。
6.2 防靜電器材、物品配置說明
EPA內各種防靜電器材和物品的種類與數量的配置，視其具體用途而定，但人體防護器材必須配備。對于為完成某一項臨時性的現場修理任務，可使用防靜電維修包來來創造一個臨時性的防靜電工作環境，包括必備的人體防護器、良好的接地措施及必要的工具的和包裝器具等。
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